04.氣體加熱
CDA加熱器CDA Heaters
▲CDA加熱器專為將潔淨乾燥空氣（CDA）加熱至指定溫度，輸送至製程機台內部或腔體，用於除濕、防冷凝、提升溫度穩定性。
產品應用與規格
產品應用
- 使用在Lam 蝕刻設備中，可進行原廠整新或客製化改善。
- 應用機型 : Kiyo-EX、Kiyo-CX、Kiyo-FX、Kiyo-GX、SOLO。
產品規格
| Max. Operating Temperatures | Voltage | Power Range | Integrated Sensor/Controller (optional) |
|---|---|---|---|
| 120°C | 208V ~230V | 1100W Custom |
N/A |
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