- 每段加熱器皆可搭配PID控制器，實現精確的溫度控制，每段加熱器皆具獨立電源，不受其它加熱器溫度跳脫、故障影響功能。
- 每段加熱器皆具溫度開關及溫度保險絲，及安全功率密度等完善電路設計。
03.管路組件加熱
特殊氣體加熱器Gas Line Heaters
▲特氣加熱器是半導體氣體管線應用的完美解決方案，需要精確的溫度來防止關鍵製程化學品的冷凝。
▲作為矽膠加熱帶的卓越替代品，其預製結構使其能夠包裹在輸送管周圍，從而能夠實現一致的加熱器/氣體管路接觸，並提高溫度均勻性。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- Gas Cylinder → VMB → Tool Gas Panel配管加熱。
- Vaporizer至Process Chamber之間的配管加熱。
- 閥箱（VMB）、Gas Cabinet中的管線加熱。
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Max. Watt Densities |
Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Material | Pipe Dimensions |
|---|---|---|---|---|---|
| 180°C | 110V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Type K TC Pt100 Thermostat PID Controller |
Silicone Rubber |
1/4 ~ 1 英吋 |
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