- 結構緊密具高可靠性與潔淨性，耐腐蝕，表面不易釋出微粒。
- 可依客戶需求訂製，兼顧加熱效果、耐久度、節能效率。
- 易於安裝與拆卸。
- 可搭配 PID 溫控解決方案，具精密溫控能力。
03.管路組件加熱
低產塵加熱器Cleanroom Heating Jackets
▲低產塵加熱器專為半導體及無塵室設備的管線或零組件加熱而設計，採用氟素材料 (如ePTFE 織布、氟膠) 或矽膠包覆，表面不易釋出微粒，經過潔淨度測試，符合 Class 100 無塵室等級要求，適用於無塵室環境。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- 氣體供應系統管線加熱 (如 : VMB、Valve Box、Gas Panel)。
- CVD / ALD 製程腔體管線或零件加熱。
- 高純氣體/化學品供應系統。
- 化學氣相沉積 (CVD) & 乾蝕刻系統。
- 有機材料（OLED）或液晶材料輸送管線加熱。
- 航太/醫療產業，特殊氣體/液體傳輸系統的穩溫需求。
產品規格
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Max. Watt Densities |
Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Material | Pipe Dimensions |
|---|---|---|---|---|---|
| 240°C | 110V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Type K TC Pt100 Thermostat PID Controller |
ePTFE Cloth | 1 ~ 4 英吋 |
| 180°C | Silicone Rubber |
1/4 ~ 4 英吋 |
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