- 提供良好機械強度與耐蝕性，適用於無塵室與腐蝕環境。
- 加熱面與待加熱物體緊密貼合，提高加熱效率與均溫性。
- 可依管徑、溫控需求訂製。
- 多種配線設計，接線盒或耐高溫導線，配合半導體設備空間。
01.腔體加熱
帶式加熱器Band Heaters
▲Band Heater 是一種設計用於包覆圓柱形物體的電阻式加熱器，藉由金屬外殼與內部電熱元件構成，提供高效且穩定的熱源。
▲其結構緊湊、導熱效率高，常應用於半導體製程設備中對管路、閥體、加熱瓶等元件進行加熱，確保氣體或液體流體的溫度穩定，以維持製程精度與效率。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- Etch（蝕刻）製程，應用實績 : Lam Kiyo family series 。
- 塑膠射出成型機料筒加熱。
產品規格
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Max. Watt Densities |
Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Material |
|---|---|---|---|---|
| 60°C | 208V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Pt100 | Aluminum |
| 200°C | SUS 304 |
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