火炬加熱器Torch Heaters

▲Heater Pad Torch Heater 是專為半導體製程設備設計的高效能局部加熱模組，常應用於CVD/LPCVD/Oxidation系統中，對氣體注入區、反應區或爐管端口進行預熱。
▲其優化的結構設計可提升氣體活性、避免冷凝並提升製程穩定性。