- 靈活的功率密度設計，可依客戶應用條件調整，提升效率。
- 抗化學腐蝕性佳，可耐酸鹼與多種有機氣體環境。
- 符合無汙染製程需求。柔性包覆，可依設備形狀裁切、包覆閥件、法蘭、異型件。
- 模組化安裝設計，採用魔鬼氈、D 型環、拉繩等多種固定設計，便於快速拆裝與更換。
03.管路組件加熱
柔性加熱器Heating Jackets
▲柔性加熱器，外層由耐高溫且具化學抗性的 PTFE 布或高純度二氧化矽 （Sio2）纖維布製成，內部可整合感測器與控制器，適用於高潔淨度環境如半導體製程管路及閥體保溫、氣體管線加熱、反應爐外罩與熱區保溫等應用。
▲產品以可拆式結構設計，安裝與維修方便，並可根據客戶需求訂製尺寸與功率輸出。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- 應用於半導體製程，氣體與液體輸送管路的熱控系統( PECVD、ALD、CVD、EPI、Etching、CMP ) 。
- 搬送與載具預熱。
- 真空腔體、石化設備、閥體與法蘭加熱包覆。
- 航太與軍工設備中的耐熱包覆需求。
產品規格
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Max. Watt Densities |
Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Material | Pipe Dimensions |
|---|---|---|---|---|---|
| 240°C | 110V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Type K TC Pt100 Thermostat PID Controller |
PTFE Cloth | 1/4 ~ 12 英吋 |
| 500°C | Silica Cloth | 1 ~ 4 英吋 |
BACK