01.腔體加熱
環型加熱環Ring Heaters
其結構將電熱管鑄造於高導熱鋁合金中，提供穩定均勻的加熱效果，適用於需要環狀加熱的真空或氣密製程模組中。
產品應用與規格
產品應用
- 半導體製程設備（如 ：CVD、ALD、Etch等腔體加熱模組）。
- 真空環境中的腔體或管道加熱環。
- 加熱均溫平台的環形外圍加熱源。
- 醫療、實驗設備、食品處理設備的加熱模組。
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Power Range | Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Material |
|---|---|---|---|---|
| 300°C | 110V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Type K TC | Aluminum Alloy |
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