- 使用於製程加熱無金屬汙染。
- 發熱體不與製程氣體接觸，可維持潔淨度。
- 採用碳纖維作為發熱素材，可提升熱反應速度及潔淨度。
- 於高溫狀態下（1000度），無變形疑慮。
01.腔體加熱
石英加熱器Quartz Heaters
▲石英加熱器是一種專為高潔淨、高耐溫應用設計的加熱模組，核心材料採用高純度石英，搭配內嵌式加熱元件，可實現精準且均勻的熱控制。
▲產品適用於真空、腐蝕性氣體或超潔淨環境，並可根據需求客製各式尺寸與結構（如環型、平板、螺旋管型等）。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- 半導體設備 : TEL/Formula THERMOPLUG。
- 可用於高達250度磷酸槽...等化學槽體使用。
- 可將發熱部與石英缸體結合，取代投入式加熱器。
- 此裝置可運用為輔助加熱器，置於直立式爐管底端，以增加爐管均溫區域，提升批量產出。
材料規格
| Type | Material | Electrode | Heating Wire |
|---|---|---|---|
| Plate | GE-124 | Tungsten Rod | Graphite Fiber |
| Tube | GE-214 |
產品規格
| Type | Max. Operating Temperatures |
Voltage | Power Range | Plate O.D. | Patent |
|---|---|---|---|---|---|
| Plate | 1000°C | 208V ~ 230V | 4000W | 325mm | M482836 M520719 ZL201130341398.2 ZL201120372386.0 |
| Tube | 100W ~ 2000W | – | – |
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