- 薄型設計，厚度約 1.5~2.5mm，適合狹小空間。
- 高反應速度，幾秒內可達工作溫度。
- 均溫性佳。
- 可依客製形狀製作（圓形、矩形、開孔、切角等）。
01.腔體加熱
雲母片加熱器Mica Heaters
▲雲母片加熱器是一種由高絕緣性的天然或合成雲母 (Mica) 與不銹鋼導熱層組成的薄型電阻式加熱元件，具有高溫耐熱、導熱均勻、結構輕薄等特性。
▲內部加熱線材採用鎳鉻合金 (NiCr) ，以雲母片作為絕緣隔層，能在短時間內快速達成所需工作溫度，並保持穩定的熱輸出，廣泛應用於精密工業設備中。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- 用於半導體 PECVD、HDPCVD、ALD 等設備。
- 塑膠包裝、熱壓機、壓合機台上的加熱元件。
- 用於分析儀器的樣品加熱 (如 FTIR、光譜儀載台)。
- 用於光電產業載台或玻璃板預熱，防止濕氣或污染。
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Max. Watt Densities |
Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Material |
|---|---|---|---|---|
| 400°C | 110V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Type K TC | MICA |
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