01.腔體加熱
二氧化矽布環狀加熱器Silica Fire Retardant Fabric Heater
▲主要用於 Formula 系列機台的溫控模組中。
▲外部絕緣材料使用二氧化矽布，其設計可達到良好的熱覆蓋與安裝便利性，廣泛應用於半導體製程氣體管線與腔體加熱系統。
產品應用與規格
產品應用
- Formula 系列製程設備。
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Max. Watt Densities |
Integrated Sensor/ Controller (optional) |
|---|---|---|---|
| 250°C | 208V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Type K TC |
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