- 高精度控溫（<0.5°C）。
- 日本製 TEC 控制器。
- 雙 NTC 感測器：分別控溫與監控。
- 支援預設與 PID 模式。
- Modbus RTU 支援 PLC/PC 通訊。
- 液晶彩色顯示與 LED 液面指示。
- 安全互鎖控制與自診斷功能。
客製化開發產品
Bubbler TEC System
▲Bubbler 系統設計用於冷卻並穩定控制石英瓶中的製程化學品溫度。例如 DCE 與 POCl3。
▲此產品為客製化開發項目，包含系統整合 TEC（熱電致冷）模組、PID 控制器與多項安全與通訊功能、高精度的溫度管理設計，皆為匯鉅提供給客戶所需的多元加熱應用方案。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- 半導體製程中化學品 (如 DCE、POCl3) 冷卻與恆溫。
- 精密化學設備之溫控供應系統。
- 氣化源穩定供應的製程 (薄膜沉積、蝕刻等) 。
產品規格
| Temperature Range | Voltage | Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Quartz bottle |
|---|---|---|---|
| 15°C~30°C | 100V ~ 240V AC (Built-in EMI filter) |
NTC x2 sets Thermo-module x3 sets TEC module Controller PID Controller |
1.5L |
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