- 加熱器表面施以陽極處理，減少金屬微壓顆粒產生。
- 鋁合金熱傳導率高，加熱面均溫性佳。
- 本體採擴散接合方式，增加使用壽命。
- 改善傳統焊接對交變應力之耐受度。
- 可依客戶需求設計成各種形狀。
01.腔體加熱
金屬載台加熱器Metal Pedestal Heaters
▲本體採用6061鋁合金製造，並採金屬擴散接合技術，改良以往以焊接方式組合本體焊縫容易龜裂之缺點，增加加熱器使用壽命。
產品特點
產品應用與規格
產品應用
- 半導體晶圓直接加熱。應用實績 : ASM Eagle XP。
- 玻璃基板加熱。
- 其他平面載板加熱需求。
| Max. Operating Temperatures |
Voltage | Max. Watt Densities |
Integrated Sensor/ Controller (optional) |
Material |
|---|---|---|---|---|
| 350°C | 208V ~ 230V | Custom (Configurable upon request) |
Type K TC | Aluminum Alloy |
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