匯鉅(ZHC)企業成立於1999年，秉持「Zealous熱忱服務、Harmony和諧合作、Creativity創造革新」的經營理念，配合政府半導體生產設備在地化之國家政策,延攬產學界專才加入公司研發團隊,從事各類製程機台加熱器之開發. 舉凡傳統電阻絲加熱器/石墨絲加熱器/雲母加熱器/磁感應加熱器/石英加熱器/氮化鋁陶瓷加熱器/石墨烯加熱器/半導體TEC致冷晶片控溫器/
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白色鐵氟龍 組合樣式

常用於TEL KE 等機台Gas pipe
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灰色鐵氟龍 組合樣式

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客製特殊外型

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角閥件

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關斷閥件

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節流閥件

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加熱套形式 1/4"~1"

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8" 雙層石英加熱器 D-TYPE

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12" 石英加熱器 C-TYPE

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12" 石英加熱器 B-TYPE

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12" 石英加熱器 A-Type Thermo-plug

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Local scrubber 加熱器

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帶狀金屬加熱器

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12"鋁合金(厚)加熱器

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12"鋁合金(薄)加熱器

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雙線圈 渦旋氮氣加熱器

1KW*2 雙線圈 渦旋氮氣加熱器,採兩組線圈設計,增加熱氮系統操作穩定性,提升製程設備利用率...
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渦漩熱氮加熱器

以螺旋渦流使管壁氣體流速增快,防止粉塵沉積!
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星型熱氮加熱器

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9600W T Y 缸氣體桶槽加熱器

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9600W 碳纖線桶槽加熱器

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小氣瓶底座型 磁感應線圈

小氣瓶底座型線圈,可降低鋼瓶空燒現象及降低殘氣量!
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磁感應加熱 控制器

輸出規格 : Max 2500W~5000W
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45A T/Y鋼瓶磁感應加熱線圈

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30A 47L氣瓶磁感應加熱線圈

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客製化腔體加熱器/加熱墊

上為示意圖 已應用機型: LAM-Etch FLEX F-system LAM-Etch KIYO E-system LAM-Etch GAMMA ..
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PID 溫度控制器(適用於較小功率之加熱器)

Spec: 5A以下適用 ! 電壓 110V /220V.
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電控箱

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TFT 矽膠防靜電加熱器

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雲母加熱器

耐溫400℃
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石墨烯加熱器

Power Rate : 800W~2Kw 可客製不同形狀.
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蝕刻加熱器 /電熱片

任何形狀之區域 皆可達均溫發熱需求
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JT heater

1 in 1 out Power1KW~2KW 2 in 2 out Power6KW~10KW
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